第428章 国产光刻机突破(1 / 2)

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山田一郎凑过来,看了很久。他的手抚过显微镜的镜筒,像抚过自己的孩子。然后他直起身,想说点什么,但什么都没说出来。他的身体晃了一下,然后像一堵墙一样倒了下去。

“山田先生!”陈思华冲上去,扶住他。老人已经昏迷了,脸色蜡黄,呼吸微弱。陈思华把速效救心丸塞进他嘴里,大喊:“叫救护车!快!”

兰芳市中央医院,急诊室。

医生从抢救室出来时,陈思华迎上去。“医生,他怎么样?”

医生摘下口罩:“胃癌晚期,已经扩散。加上过度劳累,心脏功能衰竭。我们尽力了,但他的时间……不多了。”

陈思华靠在墙上,闭上眼睛。他想起五年前,山田一郎刚来兰芳的时候,背驼得厉害,走路需要拄拐杖,但眼神亮得像年轻人。他想起那些年,老人每天第一个到实验室,最后一个离开,从不请假,从不抱怨。他想起老人说的那句话:“我可能看不到那一天了。但你们能看到。”

现在,那一天到了,老人也快走了。

陈思华走进病房。山田一郎醒了,脸色蜡黄,但眼神依然锐利。他看到陈思华,嘴角动了一下,像是想笑。

“陈桑,”他的声音很轻,“光刻机……成了吗?”

陈思华握住他的手:“成了。四十五纳米,分辨率达到了。”

山田一郎点点头:“那就好。我可以瞑目了。”

他顿了顿,喘了一口气:“但下一代光刻机,你们要靠自己。极紫外,比193n难一百倍。我教了二十个学生,他们都能独当一面。但核心技术,还要你们自己攻关。”

陈思华的眼眶红了:“山田先生,您放心。我们会做到的。”

山田一郎笑了,是那种如释重负的笑:“陈桑,你知道吗?我在尼康干了四十年,看着日本光刻机从无到有,从弱到强,又从强到弱。ASML打败了我们,不是因为他们更聪明,是因为他们有钱、有人、有市场。现在,你们兰芳有了一个机会。”

他喘了一口气,继续说:

“三十年后,光刻机市场,不会是荷兰人说了算。也不会是日本人说了算。是谁说了算,就看今天谁在努力。”

他闭上眼睛,像是累了。

“陈桑,我困了。”

陈思华轻声说:“您睡吧。我守着您。”

山田一郎没有再说话。他的呼吸渐渐平稳,渐渐均匀。陈思华坐在床边,握着他的手,一动不动。

三月十五日,兰芳半导体公司召开新闻发布会。陈思华站在讲台上,手里举着一片晶圆。台下,来自世界各地的记者、分析师、投资人挤满了大厅。

“各位,”他的声音有些沙哑,“今天,兰芳半导体公司正式宣布:四十五纳米制程,量产成功。良品率,百分之九十五。”

台下闪光灯亮成一片。

“我们的光刻机,是兰芳自己造的。我们的材料,是兰芳自己炼的。我们的工程师,是兰芳自己培养的。从今天起,兰芳半导体的技术水平,追平台积电。”

记者举手提问:“陈总,你们的光刻机寿命只有五千小时,而ASML是一万小时。你们怎么解决这个问题?”

陈思华沉默了片刻:“山田一郎先生,我们的光刻机之父,今天还在医院里。他告诉我们,五千小时不够,要一万小时。我们会做到的。不是明年,就是后年。不是后年,就是大后年。总有一天,兰芳的光刻机,会比ASML更好。”