女娲系统在各种扫描设备的配合下,光刻机拆解过程几乎不会有任何意外。这一点,已经在拆解250纳米光刻机时验证过。
沈院士叹了一口气,王世杰的话如同一盆冷水,浇灭了他对“短期产能突破”的期待。
前段时间,深蓝半导体被国内外供应商卡原材料的事情,在网络上闹得沸沸扬扬,他自然也有所耳闻。
国内的那些原材料,他还可以私底下牵线搭桥,但涉及到国外供应商,他也没有什么办法。
“这些材料,确实是绕不开的坎。”沈院士叹了口气,目光重新落回65n光刻机上,语气带着几分怅然。
“可这台设备毕竟是国内目前最先进制程设备之一,拆解过程中要是出了差错,想要再找到替代设备,难如登天。”
王世杰看出沈院士的担忧,轻声安慰道:“沈院士放心,拆解前我们会完整记录设备结构,每一个零部件的安装位置、接线方式都会存档。
而且张北光团队已经拆解过250n光刻机,有成熟的流程,不会出纰漏。”
他顿了顿,补充道:“拆解过程还会全程录像,同步上传到行星二号超算备份。哪怕某个部件出现损坏,也能根据扫描数据逆向复刻,不会影响后续复原光刻机。”
沈院士仍有顾虑:“逆向复刻谈何容易?像光学镜头、伺服电机这些核心部件,国内厂商的工艺还达不到原机水准,一旦损坏,恐怕还是要依赖进口。你们复刻过250纳米光刻机,应该更明白其中的难度!”
在他看来,以龙国目前的工业体系,很难复刻高端光刻机的核心部件。
王世杰却是语气坚定,“只有摸清每个部件的设计原理,才能推动国内供应商突破技术壁垒。
我们去年拆解的250纳米光刻机,已经完全吃透内部构造。按照计划,我们用国产部件复刻的250纳米光刻机,再有两个月就可以下线了。”
沈院士握着报告的手微微一松,眼中的担忧被难以置信取代:“两个月?用国产部件复刻250纳米光刻机?”
他深耕半导体领域数十年,太清楚高端设备国产化的难度。
250纳米光刻机虽非顶尖制程,但核心部件如精密导轨、伺服电机、光学镜头,长期依赖国外进口,国内厂商连逆向测绘都困难,更别提复刻组装。
去年王世杰通过他联系了很多厂商,当时他还以为双方应该是共同研究光刻机的某一种结构。
现在看来,当时就是复刻250纳米光刻机的某一种核心部件。