他想起之前帮深蓝半导体协调250纳米光刻机配件时,张北光团队展现出的学识能力,又很快摇头。
系统解锁与硬件复刻不同,涉及国外厂商的加密算法,没有资深专家指导,几乎不可能完成。
沈院士抵达深蓝半导体厂区时,王世杰已在办公楼前等候。
春雨刚过,厂区路面还带着湿润的水汽,远处二号车间的玻璃幕墙反射着淡淡的天光。
“沈院士,一路辛苦。”王世杰上前握住老人的手,语气带着敬重。
沈院士摆了摆手,目光却不经意扫向一号生产楼方向,语气带着几分试探:“听说你们购买到65纳米光刻机被远程锁定?我带了几份国外设备调试的参考资料,或许能帮上忙。”
王世杰闻言,脸上笑意多了几分,“沈院士有心了,咱们现在上楼看一看我们的65纳米光刻机。”
楚千澜既然同意沈院士前来参观,他自然也不需要隐瞒对方光刻机现在的状态。
沈院士跟着王世杰走进办公楼电梯,他本想从王世杰口中套出更多关于光刻机的细节,可对方始终神色从容,半句未提设备调试的进展,这让他心中的疑惑更甚。
电梯门缓缓打开,二楼走廊尽头的玻璃门后,隐约能看到身穿洁净服的工程师匆匆走过。
王世杰推开玻璃门,一股带着淡淡消毒水味的空气扑面而来:“沈院士,这边请,65纳米光刻机就在二号车间。”
穿过风淋室,沈院士跟着王世杰走进二号车间。昏暗的环境中,几盏应急灯勾勒出设备的轮廓,65纳米光刻机静静矗立在车间中央,管线排布整齐,与他想象中“安装调试”的杂乱景象截然不同。
“这是……”沈院士脚步猛地顿住,目光死死盯着设备操作屏。
屏幕上并未显示“用户登录”、“系统锁定”的提示,反而跳动着一行行数据代码,旁边的监控屏上,正实时显示着硅晶圆的光刻进度。
王世杰笑着解释:“托您的福,年前我们就破解了系统锁定,现在设备已经完成调试,正在尝试生产45纳米芯片。”
“45纳米!”沈院士的声音陡然拔高,快步走到观察窗前,手指紧紧贴在玻璃上。
屏幕上,经过多重曝光的电路图案清晰锐利,线宽误差稳定在±0.004微米以内,这精度远超他的预期。
他转头看向王世杰,语气带着难以置信的激动:“你们不仅解锁了系统,还掌握了多重曝光技术?这怎么可能!国际上能做到用65纳米设备生产45纳米芯片的厂商,一共也没有几家!”
王世杰轻笑一声,“能做到的厂家不多,那是人家本身就拥有45纳米光刻机,不需要利用多重曝光技术!”
沈院士怔在原地,目光反复扫过屏幕上的光刻数据与设备运转状态,指尖因激动而微微颤抖。
他深耕微电子领域数十年,太清楚“用65纳米设备生产45纳米芯片”意味着什么。
这不仅是技术突破,更是打破国外设备垄断的关键一步。
“多重曝光的套刻精度、光刻胶兼容性、良率控制……这些难题你们都解决了?”沈院士快步走到设备旁,目光落在晶圆传送臂上,声音里满是急切。