“神光”实验室的无尘车间里，气氛凝重得仿佛能滴出水来。
一张巨大的工程图纸铺在桌面上，上面密密麻麻地画满了复杂的机械结构和运动轨迹。
范·德·维尔指着图纸中央，眉头紧锁：“李，你看这里。双工件台的核心逻辑，就是这两个平台的高速交换。一个在曝光位，一个在预处理位。它们需要在短短几秒钟内完成位置互换，不仅速度要快，而且精度必须控制在纳米级！”
他顿了顿，语气中带着一丝无奈：“在ASL，我们尝试过用高精度的气浮导轨，但机械结构的惯性和摩擦力始终是个大问题。一旦速度过快，微小的震动就会毁掉整个曝光过程。这就像是让两头大象在钢丝绳上跳舞，还要保证不碰到对方，太难了。”
李晓宇看着图纸，沉思良久。他知道，这是光刻机从“能用”到“高产”的关键一跃。
如果沿用传统的机械导轨，哪怕做到极致，也依然无法摆脱物理摩擦的桎梏。
“既然地上跑不快，那我们就让它……飞起来。”
李晓宇忽然抬起头，眼中闪烁着异样的光芒。
“范先生，如果我们将导轨彻底扔掉呢？”
他拿起一支笔，在图纸上画了一个悬浮的方块。
“平面磁悬浮驱动技术（pnaragicLevitation）！”
“磁悬浮？”范·德·维尔瞪大了眼睛，仿佛在听天方夜谭，“你是说像磁悬浮列车那样？但这可是在纳米精度的光刻机里啊！电磁场的波动怎么控制？热量怎么散发？”
“用‘女娲’来控制！”李晓宇自信地说道，“我们已经在‘昆仑’上验证了主动磁悬浮轴承的可行性。现在，我们只需要把这个技术平面化、放大化！”
他迅速在白板上勾勒出了系统架构：底座铺设海尔贝克阵列（halbachArray）永磁体，工件台底部安装多组高精度的线圈。通过林涛团队开发的超高速实时算法，精确控制每一个线圈的电流大小和方向，产生可控的洛伦兹力，让工件台在六个自由度上实现无接触的悬浮和驱动！
“没有摩擦，没有磨损，没有机械间隙！”李晓宇的声音充满了感染力，“这将是真正的‘零摩擦’运动，理论上的极限速度和精度，将只受限于我们的控制算法和传感器灵敏度！”
这个大胆到近乎疯狂的构想，让范·德·维尔彻底呆住了。他在ASL工作了半辈子，见过的最激进的方案也不过是气浮，而这个中国人，竟然想直接跨越到磁悬浮！
“这……这太疯狂了。”他喃喃自语，但眼中的光芒却越来越亮，“但如果真的能实现，这将是对现有光刻机架构的彻底颠覆！”
与此同时，在隔壁的光源实验室，张承平院士也面临着巨大的挑战。
要实现0.25微米工艺，光源波长必须缩短到248纳米（KrF准分子激光）。
“这种激光器太娇气了！”一位老专家抱怨道，“氟气具有极强的腐蚀性，腔体寿命是个大问题。而且，单腔结构的能量输出很不稳定，稍微加点功率，线宽就飘了。”
李晓宇来到实验室，看着那台正在测试的激光器，脑海中浮现出了后世cyr公司的经典设计。
“单腔不行，那就双腔。”
他在图纸上画了两个串联的腔体。
“opA（主振荡功率放大）结构！”
“第一个腔体做‘种子源’，只负责产生高质量、窄线宽的小功率种子光。第二个腔体做‘放大器’，只负责把这个种子光进行能量放大。”
“各司其职，互不干扰！这样既能保证光束质量，又能大幅提升输出功率和寿命！”