送走马元龙后,楚千澜直接驾车前往深蓝半导体厂区。
生产楼改造项目已经开工二十多天,他这还是第一次前往现场。
辉腾刚驶入龙岗区的工业区,远远就能看到厂区的围挡上,挂着“css1洁净室改造工程”的横幅。
楚千澜将车停在临时停车场,戴上安全帽走进工地。
空气中弥漫着粉尘与油漆的混合气味,几台挖掘机正在平整场地,穿着蓝色工装的工人推着物料车穿梭其间。
王世杰此时拿着图纸站在生产楼门口,与几位工程师讨论着什么。
看到楚千澜到来,王世杰快步迎上来,“楚总,洁净室的主体框架已经搭建完毕,正在做空气循环系统的管道铺设。”
楚千澜望向被蓝色防护布包裹的生产楼,隐约能看到内部焊接产生的火花:“进度比预想的快,按这速度,明年六月能如期完工吗?”
王世杰递过一份进度表,“项目比预期提前开工10天,原厂的承重墙体符合标准,也省下了3天工期。有这些时间做保障,按期完成项目,问题并不大!”
楚千澜接过进度表,目光扫过上面密密麻麻的节点标注,指尖在“光刻区防震地基”一栏停顿:“这部分施工精度要求最高,有没有额外的质量控制措施?”
王世杰指着生产楼内侧的脚手架:“我们请了专门做半导体厂房改造的监理团队,周建明几人也在其中。他们每天三次用激光水平仪校准,误差控制在0.5毫米以内。
您看那面墙体,钢筋密度比设计增加了20%,就是为了抵消光刻机运行时的高频振动。”
顺着他指的方向,楚千澜看到几名工人正在绑扎钢筋,密密麻麻的钢筋网像一张巨大的铁笼,将整个光刻区包裹其中。
“设备进场通道预留好了吗?”楚千澜忽然问道,“193n光刻机可是个大家伙,普通货运电梯怕是进不去。”
王世杰早有准备:“我们在生产楼西侧开了个临时通道,拆除了部分墙体,宽度和高度都按设备最大尺寸加了冗余。等设备就位后,再用特种材料封堵,不会影响洁净室的密封性。”
他顿了顿,语气带着几分兴奋:“张北光团队昨天传回消息,何兰那边已经开始打包,只要不出意外,清关手续这个月末就能办完。”
楚千澜点头:“随时关注那边的情况,有任何问题第一时间反馈。”
两人沿着临时搭建的脚手架走进生产楼内部,刺鼻的油漆味扑面而来。几名工人正在吊装巨大的通风管道,管道内壁闪烁着金属的冷光。
“这是高效过滤器的安装位,”王世杰指着头顶的钢结构框架,“一共要装12级过滤,从初效到超高效,确保每立方米空气中的尘埃颗粒不超过1颗。”
楚千澜抬头望去,管道纵横交错,像血管一样遍布整个厂房,末端连接着密密麻麻的出风口。
“动力系统的调试安排在什么时候?”
“下个月中旬,”王世杰说道,“为了以后扩充产能,我将变压器容量扩展到了2000KVA,同时还保留了继续扩容的空间!”
楚千澜微微颔首,“这事情,你自己决定就好!”